中硅(山东)硅铝新材料有限公司
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中硅(山东)硅铝新材料有限公司成立于2019年,位于山东省济南市。
公司经过多年的科研攻关,已经攻克气相法(CVD工艺)批量生产高纯超细碳化硅粉的技术障碍,生产出的碳化硅微粉,属3C相β型,纯度达到4N-6N;颗粒均匀,粒径主要分布在200-1300纳米,形态呈球状;硅碳摩尔比近似1:1;因其在高浓度的氩气和氢气环境下生成,颗粒内部无氧。这种粉料是研磨抛光芯片衬底及生产高端碳化硅器件的原料,器件在半导体制造工艺装备中都有广泛应用,如:研磨抛光吸盘、光刻吸盘、检测吸盘、精密运动平台、蚀刻环节的高纯碳化硅部件、封装检测环节中精密运动系统等,其次,光伏硅生产用的碳化硅桨也用到这种高纯超细碳化硅粉。
公司以立足科学实验,创造创新改进,满足客户需求,沉积企业品牌为经营理念,在高新材料方面,努力进取,并为此做出贡献。